《电子工业洁净厂房设计规范》（GB 50472－2008）

《电子工业洁净厂房设计规范》（GB 50472－2008）是中国针对电子工业洁净厂房设计的国家标准，旨在确保洁净厂房的设计、建造和运行符合电子工业生产的特殊要求。以下是该规范的主要内容概述：

1. 适用范围

• 行业范围: 适用于电子工业中的半导体、集成电路、平板显示、光电子、电子元器件等领域的洁净厂房设计。

• 建设阶段: 涵盖洁净厂房的规划、设计、施工、验收和运行维护。

2. 设计原则

• 洁净度要求: 根据生产工艺要求，确定洁净厂房的洁净度等级。

• 节能环保: 采用节能技术和环保材料，减少能源消耗和环境污染。

• 安全可靠: 确保厂房结构安全，设备运行可靠，符合消防安全和职业健康要求。

3. 洁净度等级

• 等级划分: 参照ISO 14644-1标准，将洁净厂房划分为不同的洁净度等级（如ISO 1至ISO 9）。

• 控制参数: 包括空气中悬浮粒子浓度、微生物浓度、温湿度、压差等。

4. 总体布局

• 功能分区: 根据生产工艺流程，合理划分生产区、辅助区、办公区等。

• 人流物流分离: 设计专用的人流和物流通道，避免交叉污染。

• 设备布局: 优化设备布局，减少物料和人员的移动距离。

5. 建筑结构

• 建筑材料: 选用耐腐蚀、易清洁、不产尘的材料。

• 建筑高度: 根据设备高度和气流组织要求，确定建筑高度。

• 承重能力: 确保建筑结构具备足够的承重能力，支持重型设备和多层布局。

6. 空调与净化系统

• 空气处理: 采用高效过滤器（HEPA或ULPA）处理空气，确保洁净度。

• 气流组织: 设计合理的气流组织，确保洁净空气覆盖关键区域。

• 压差控制: 通过压差控制，防止低洁净区空气进入高洁净区。

7. 给排水系统

• 水质要求: 根据生产工艺要求，提供符合标准的纯水和超纯水。

• 排水系统: 设计完善的排水系统，确保废水处理符合环保要求。

8. 电气系统

• 电力供应: 确保稳定可靠的电力供应，必要时配备备用电源。

• 照明系统: 采用防尘、防爆的照明设备，确保照明充足。

• 接地系统: 设计合理的接地系统，确保设备安全运行。

9. 消防与安全

• 消防设施: 配备必要的消防设施，如灭火器、消防栓、自动喷淋系统等。

• 安全通道: 设计足够的安全通道和紧急出口，确保人员安全疏散。

• 监控系统: 安装监控摄像头和报警系统，实时监控厂房安全。

10. 验收与运行维护

• 验收标准: 制定详细的验收标准，确保洁净厂房符合设计要求。

• 运行维护: 制定并执行运行维护计划，确保设备和系统持续有效运行。

• 定期检测: 定期检测洁净度、温湿度、压差等参数，确保符合标准。

11. 附录

• 附录A: 洁净度等级对照表。

• 附录B: 常用材料和设备的洁净度要求。

• 附录C: 设计计算方法和公式。

总结

《电子工业洁净厂房设计规范》（GB 50472－2008）为电子工业洁净厂房的设计、建造和运行提供了全面的指导。通过遵循该规范，可以确保洁净厂房的高效运行和长期稳定，满足电子工业生产的特殊要求。